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      产品中心

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      槽式湿法制程设备

      全自动有机清洗机

      有机清洗机生产主线为:上料台、ACE1槽1、ACE2槽2、METH槽3、QDR槽4、QDR槽5、IPA槽6、HOT N2槽7、下料台,共6个制程工位。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长;顶部及背部设有吸风口,为防止污染空气,用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面(PC)加PLC控制的自动控制系统,操作者只须将花篮放置于工装上,再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位,按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。

      产品详情

      项目

      说明

      清洗能力(采购方提供cassette样品)

      4inch   4 cassette / Batch    25 Pcs/cassette;6inch   2 cassette / Batch    25 Pcs/cassette;

      设备形式(洁净度:千级洁净室)

      室内放置型 ;

      机台封面、主要结构材质

      SUS304单镜面板材;

      机台视窗

      材质

      透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC ;

      模式

      单开式 ;

      机台主机强度结构

      整体SUS304不锈钢结构骨架;

      防漏盘

      材质

      聚丙烯磁白PP板材;

      模式

      分体式    每侧尺寸比设备本体长50mm;

      漏液检测装置

      材质

      防腐材质;

      点式

      单点式;

      其它

      水平调整

      通过地脚调整设备水平;

      设备移动

      设备装有树脂脚轮以备设备移动之用;

      台面板

      材质

      ¢12mm左右洞洞结构   SUS304单镜面板材;

      模式

      可拆式 ;

      排风系统

      排风口位置

      设备后顶部 ;

      排风通道结构

      1.排风强劲合理设计,为了排风效果达到最佳,排风通道内设有风量导流板;

      2.为了方便操作人员根据情况及时调节排风量,操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式(以便清除可能产生的结晶)排风栅栏再配合机台视窗上的可调进气??槭褂么锏阶罴咽褂眯Ч?;

      3.设备排风通道的底部带排液管,冷凝回流的废液通过管道排放至机台U型湿区内与QDR排出的废水混合稀释并排放至机台后方厂务废水专用管道内;

      机台的电控系统

      安装在机体的后部; 触摸屏及电源控制开关、照明等安装在设备正前方。各槽体的工艺过程均由PLC、触摸屏、温控器、传感器等组成。设备具有上电手动操作复位功能。每个机台可存储X套工艺配方,操作者可通过触摸屏调用预先编制好的工艺配方。软件系统具有工艺配方参数设定、手动维护、自动运行、状态监控等画面。软件具有报警信息、历史记录、维护信息等系统记录。软件系统具有3级加密进入权限设置:分别为设备作业员、设备工程师、工艺工程师,不可混用权限;

       

      工艺记录储存类型

      工业条码枪+PLC+工控机

      使用程序时刷条码确认程序,完成生产工艺中参数及工艺步骤等详细记录存储,便于采购方对生产产品品质管控; 程序运行记录可定时存储,存储数据类型参考如下:程序号、操作者、槽体温度、设定时间、运行时间、报警信息等(待定)。全部为PC操控、各种log、alarm信息记录、自动带当功能、联网上抛功能、操作记录,不能删除记录。

            


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