<ins id="11111"><menuitem id="11111"></menuitem></ins>

<ol id="11111"></ol>
<strike id="11111"></strike>

    <ol id="11111"></ol>

    <ol id="11111"></ol>
      <ol id="11111"><delect id="11111"></delect></ol>

      <strike id="11111"><delect id="11111"><dfn id="11111"></dfn></delect></strike>

      产品中心

      首页 > 产品中心> 单片湿法制程设备

      单片湿法制程设备

      单片去胶清洗机

      特点:

      生产主线为:该设备主要由湿法清洗工艺???主轴旋转系统???、清洗臂扫描旋转系统???、N2吹干系统???、液体供应系统???、空气净化(配带离子风机)及静电去除系统???、安全消防系统???、电气控制系统??榈茸槌?。本设备电器控制部分关键件均采用进口优质件,性能可靠,使用寿命长;顶部及背部设有吸风口,为防止污染空气,用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面(触摸屏)加PLC控制的半自动控制系统,操作者只须将清洗工件放置于湿法清洗单元??榧芯呱?,按照事先输入的程序对工件进行各工艺处理。

      清洗能力: 8 inch  wafer;


      产品详情

      产品详情:

      项目

      说明

      机台型号

      CGB-SSC-XX;

      机台重量

      XX

      清洗能力(采购方提供cassette样品)

      8 inch  wafer;

      处理方式

      单片处理   人工手动取放片,干进干出;

      产能要求

      湿法制程清洗工艺XXXX    Pcs /月(按照<30min/run,50PCS/Run,22小时/天,26天/月计算,预估值);

      设备形式(洁净度:千级洁净室)

      室内放置型;

      机台封面、主要结构材质

      聚丙烯磁白PP 10T();

      SUS304单镜面板材1.5T(√);

      机台视窗

      材质

      透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC  5T ();

      SUS304单镜面板材及钢化玻璃   5T(√); 

      模式

      上下举升式();

      左右推拉式(√);

      机台主机强度结构

      整体SUS304不锈钢结构骨架;

      防漏盘

      材质

      聚丙烯磁白PP板材;

      模式

      分体式  每侧尺寸比设备本体长50mm;

      漏液检测装置

      材质

      防腐材质;

      点式

      单点式;

      其它

      水平调整

      通过地脚调整设备水平;

      设备移动

      设备装有树脂脚轮以备设备移动之用;

      台面板

      材质

      ¢12mm左右洞洞结构   聚丙烯磁白PP板材(√);

      ¢12mm左右洞洞结构   SUS304单镜面板材();

      模式

      可拆式(√);

      一体式();

      排风系统

      排风口位置

      设备后顶部(√);

      设备后部();

      排风通道结构

      1) 排风强劲合理设计,为了排风效果达到最佳,排风通道内设有风量导流板;

      2) 为了方便操作人员根据情况及时调节排风量,操作人员可小范围调节机台排风背板上的可拆卸式(以便清除可能产生的结晶)排风栅栏再配合机台视窗上的可调进气??槭褂么锏阶罴咽褂眯Ч?;

      3) 设备排风通道的底部带排液管,冷凝回流的废液通过管道排放至机台U型湿区内与QDR排出的废水混合稀释并排放至机台后方厂务废水专用管道内;

      机台的电控系统

      安装在机体的后部; 触摸屏及电源控制开关、照明等安装在设备正前方。各槽体的工艺过程均由PLC、触摸屏、温控器、传感器等组成。设备具有上电手动操作复位功能。每个机台可存储X套工艺配方,操作者可通过触摸屏调用预先编制好的工艺配方。软件系统具有工艺配方参数设定、手动维护、自动运行、状态监控等画面。软件具有报警信息、历史记录、维护信息等系统记录。软件系统具有3级加密进入权限设置:分别为设备作业员、设备工程师、工艺工程师,不可混用权限;

      规格特点:
      01)工艺说明: 人工传动,手动方式实现传送工件;
      02)全程自动化控制,工艺过程中没有人工干预,保证产品性能的一致性;
      03)旋转主轴及扫描清洗臂旋转辅轴移动提升均采用日本伺服马达,闭环控制,定位精度≤1mm,可靠性高;
      04)具有系统急??睾托髦崧泶锏缁远乇;さ榷嘀乇;?,确保操作者的安全;
      05)旋转主轴及扫描清洗臂旋转辅轴运行平稳,带有过载和过流?;?;
      06)优化配管设置,节约药液消耗量;
      07)工艺柔性化设计,工艺更改方便迅速;
      08)多工艺数据库,可供用户使用和存储;
      09)整机在使用、运行过程中平稳、可靠、不产尘、无溢出油污等,需润滑的零件必须密封处理,定期更换润滑油;
      10)整机采用全封闭设计。设备运行且操作、维护和维修方便;
      11)整机耐腐蚀溶液及挥发气体的腐蚀,电器元件正常安全使用;
      12)机台设有紧急停止回路(EMO急停按钮),并按照标准设置接地?;ざ下菲?;
      13)整机前后区隔离,底板倾斜设计,便于排液,最低处设有漏液报警,区域均设水枪,确保漏液及时冲洗;
      14)清洗槽体及管路配有明显标识或防错设计,防止溶剂混用;
      15)设计合理化的排风管路,使腐蚀液挥发气体的污染最小化;
      16)各种工艺参数超限、非正常加工处理条件、非正常操作、缺液、满液等异常检测告警系统和安全?;ぷ爸?;
      17)生产日志、故障日志等记录可定制保存时间,长期保持备查;操作简单友好;工艺参数数显检测、报警控制分等级、严重紧急情况、超限等;故障提示导寻,故障原因明显易查;
      18)软件系统采用多层级、多进程、单元??榛杓?,单一单元??楣收喜挥跋炱渌ピ?楣ひ占庸?;
      19)DIW枪及N2枪各1套;
      20)机台总进水口处安装水阻计监测装置(带信号报警装置),并加装0.2us过滤器;
      21)机台总进口处(N2或CDA)安装有压力监测装置(带信号报警装置);
      22)机台顶部配有10级FFU;
      23)机台顶部配有静电消除装置;

       


      购彩中心